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●蒸着、スパッタリングなどの真空成膜装置に。
●分析機器、リークテスト装置に。
●真空乾燥、ガス置換など各種真空装置に。
●排気速度(L/min)50/60Hz:670/800
●到達圧力(Pa):0.67
●吸気口径(mm):VG40相当
●電源(V):三相マルチ
●寸法(mm):210×680×324
●全閉外扇三相マルチ電圧モータ50Hz：200～240/380～415V対応、60Hz：200～240/380～460V対応
●サーマルプロテクタなし
●排気口:ＶＧ４０相当
●使用油:Ｒ－７
●シリンダー：鋳鉄
●ポンプケース：アルミ鋳物
●VDポンプにはオイルミストトラップは付属されておりません。
●オイルミストトラップのご購入を推奨します。
●出荷時は２００Ｖクラスの△結線となっています。
●本製品を日本国外へ輸出する場合は手続きが必要となるためご一報下さい。